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內圓切片機 型號:OC911-QP-301D
主要技術指標:
切割晶圓尺寸:<¢100mm
刀片規格:φ422mm×φ152mm ×0.15mm
切割晶棒長度:350mm
切割進給速度:1~99mm/min
切割返回速度:1~999mm/min
內圓切片機 型號:OC911-QP-301D
送料進給步距偏差:±0.007mm (按1mm當量進給)
片厚設定范圍:0.01~40.00mm晶向調節
水平方向(X)±7o(分辯率2')
垂直方向(Y)±7°(分辯率2')
功耗:2.5KW,~380V±38V,50HZ±1HZ
空氣源:0.4~0.5MPa
觸摸屏:5.7英寸
外形尺寸:1100mm×660mm×2230mm
重量:1100kg
可選方案:
●¢422mm規格加深型刀盤配置方案,使片厚設定范圍可達58.00mm(QP-301T型)。
●¢457mm規格刀盤配置方案,使切割晶棒直徑可達¢105mm(QP-401型)。
內圓切片機 型號:OC911-QP-301D
主要技術指標:
切割晶圓尺寸:<¢100mm
刀片規格:φ422mm×φ152mm ×0.15mm
切割晶棒長度:350mm
切割進給速度:1~99mm/min
切割返回速度:1~999mm/min
內圓切片機 型號:OC911-QP-301D
送料進給步距偏差:±0.007mm (按1mm當量進給)
片厚設定范圍:0.01~40.00mm晶向調節
水平方向(X)±7o(分辯率2')
垂直方向(Y)±7°(分辯率2')
功耗:2.5KW,~380V±38V,50HZ±1HZ
空氣源:0.4~0.5MPa
觸摸屏:5.7英寸
外形尺寸:1100mm×660mm×2230mm
重量:1100kg
可選方案:
●¢422mm規格加深型刀盤配置方案,使片厚設定范圍可達58.00mm(QP-301T型)。
●¢457mm規格刀盤配置方案,使切割晶棒直徑可達¢105mm(QP-401型)。